1、旋片式真空泵
轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)（或兩個(gè)以上）旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。旋片泵多為中小型泵，產(chǎn)品已經(jīng)系列化。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種，一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數(shù)是單工作腔結(jié)構(gòu)，常用兩個(gè)徑向滑片，也有用三個(gè)斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應(yīng)用。
2、滑閥式真空泵
在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個(gè)滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾動(dòng)，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng)，而把泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e?；y式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。
3、定片式真空泵
在泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一個(gè)始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，滑片能上、下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。定片式真空泵抽速較小，有單級(jí)、雙級(jí)之分，雙級(jí)泵的極限真空可達(dá)10-1Pa。泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用壽命較長(zhǎng)和檢修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已經(jīng)很少生產(chǎn)和應(yīng)用。
4、余擺線式真空泵
在泵腔內(nèi)偏心裝有一個(gè)型線為余擺線的轉(zhuǎn)子，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。泵的動(dòng)平衡性好，所以泵運(yùn)轉(zhuǎn)較平穩(wěn)、振動(dòng)亦小，轉(zhuǎn)速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發(fā)展為大抽速的機(jī)械真空泵。由于吸氣管路短而粗，有利于提高低壓力下的抽速。因此，在低壓范圍內(nèi)（1～l00Pa）余擺線泵的抽速特性曲線優(yōu)于滑閥泵。余擺線泵的轉(zhuǎn)子和泵體是一對(duì)共軛齒形副的嚙合運(yùn)動(dòng)，所以對(duì)被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感。余擺線泵適應(yīng)較高溫度的工作環(huán)境，可以通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度（即成為余擺線熱泵），用來抽除大量的可凝性水蒸汽。